Oberflächenmessung von Mikrostrukturen mit Multisensor-Koordinatenmessgerät

Mit dem Nano-Focus-Probe (NFP) bietet Werth Messtechnik GmbH erstmalig in Multisensor-Koordinaten-messgeräten die Möglichkeit zur flächenhafte Messung mit einem hochgenauen, konfokalen Sensor. Geometrie, Form und Rauheit von Mikrostrukturen, aber auch Schneidkanten von Werkstücken oder Schichtdicken, können auf diese Weise an kleinen und großen Messobjekten gemessen werden. Der Einsatz ist sowohl im Fertigungs- als auch im Laborbereich möglich. Die Entwicklung wurde durch eine exklusive Zusammenarbeit mit der Nanofocus AG realisiert.

Der zur Oberflächenmessung eingesetzte konfokale Sensor NFP ist vollständig in das Werth Multisensorkonzept integriert. Innerhalb kurzer Zeit kann so die Oberfläche eines Werkstücks mit hoher Auflösung und vielen Messpunkten erfasst werden. Zur weiteren Auswertung steht WinWerth mit dem 3D-CAD-Modul zur Verfügung. Dies ermöglicht eine schnelle und einfache Auswertung der Messdaten und die anschauliche Darstellung der 3D-Oberfläche. Durch Einsatz verschiedener Optiken kann die Leistungsfähigkeit in Genauigkeit und Messbereich an die jeweilige Aufgabenstellung angepasst werden.

Der Einsatzbereich des Nano-Focus-Probe kann durch die Integration in das Multisensor-Koordinatenmessgerät auch auf beliebig große Messobjekte ausgeweitet werden. Weitere Sensoren wie Bildverarbeitung, Lasersensoren, Taster und der für Werth patentierte Mikrotaster WFP, runden das Leistungsspektrum für ein Koordinatenmessgerät für Mikrogeometrien ab. Es können auf diesem Wege zum Beispiel Werkstücke mit dem Bildverarbeitungssensor eingemessen und basierend auf dem so generierten Referenzkoordinatensystem, die Oberflächenmessungen exakt an dem gewünschten Ort am Werkstück durchgeführt werden.

 

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Echter „Multisensor“

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